Сибирские ученые разработали микроскоп для работы с нанообъектами

 

Сотрудники Конструкторско-технологического института научного приборостроения СО РАН разработали микроскоп, который позволяет работать с объектами, измеряемыми в нано- и пикометрах. Высокая точность прибора достигается использованием в нем атомно-гладких зеркал.

Евгений Сысоев демонстрирует работу микроскопаВ отличие от обычного, созданный в КТИ НП СО РАН микроскоп – цифровой, то есть изображение выводится на экран компьютера, где в дальнейшем с ним можно работать – выбирать измеряемую область, перемещать объект и даже поворачивать его. Кроме того, для создания этого оборудования были использованы атомно-гладкие зеркала, которые на сегодняшний день производит только Институт Изображение в микроскопефизики полупроводников СО РАН им. А.В. Ржанова. Такая модификация позволила резко повысить точность работы прибора.

На сегодняшний день существует несколько образцов этой разработки, которые используются в институтах Сибирского отделения, в настоящий момент создаются еще несколько - для Института ядерной физики СО РАН и Института сильноточной электроники СО РАН (Томск). В КТИ НП СО РАН микроскоп используется, в частности,  для контроля дифракционных линз, созданных с помощью фотоплоттера.

-  Можно на стеклянной подложке толщиной 5 мм нарисовать такой узор, который при освещении пучком света преобразовывается различными способами, - рассказывает о применении этой разработки директор КТИ НП СО РАН доктор технических наук Юрий Васильевич Чугуй. -  Величина такого узора – несколько микрон, и важно, чтобы он был сделан с высокой точностью. Для контроля качества в частности используется этот микроскоп. А сами дифракционные линзы применяются, например, в космической промышленности.

Кроме того, такое оборудование позволяет решить и важную метрологическую задачу. Постоянная работа с нанообъектами показала, что для их корректного измерения необходимы свои эталоны.

- Измерение – это сравнение, поэтому когда мы пытаемся что-то померить, нам нужно иметь другой объект, эталон, с которым мы будем сравнивать, – рассказывает старший научный сотрудник КТИ НП СО РАН кандидат технических наук Евгений Владимирович Сысоев. – Это оборудование как раз позволяет создать такой эталон. То есть мы берем какой-то объект, измеряем и документируем, например, что его величина – 1,3 нанометра. И дальше мы можем сравнивать другие объекты с ним и тем самым измерять их.

www.COPAH.info